화학공학소재연구정보센터
  • 버스트 초고속 레이저 펄스를 사용하는 취성 재료를 위한 폐형 릴리즈 방법
  • 국제 특허분류 : B23K-026/0622, B23K-026/08, B23K-026/364, B23K-026/40, C03B-033/02, C03B-033/04, C03B-033/09, C03B-033/095, B23K-101/40, B23K-103/00
  • 출원번호/일자 : 10-2017-0087780 (2017/07/11)
  • 공개번호/일자 : 10-2017-0085999 (2017/07/25)
  • 출원인 : 로핀-시나르 테크놀로지스 엘엘씨
  • 투명한 취성 기판으로부터 폐형들을 기계가공하고 릴리즈하기 위한 방법은 기판 내에 오리피스들의 패턴들을 드릴링하기 위하여 초고속 레이저 펄스들을 사용하는 단계를 포함한다. 오리피스들은 광음향 압축에 의해 형성되고 투명 기판 내에서 완전히 또는 부분적으로 확장한다. 투명 기판 내에 서로 떨어져 간격을 두는 오리피스들의 스크라이빙된 라인은 기판 내에 폐형 패턴을 포함한다. 폐형 패턴이 투명 기판으로부터 릴리즈될 때까지 상기 투명 기판 내에 서로 떨어져 간격을 두는 오리피스들의 스크라이빙된 라인 주위의 영역 내에 열원이 적용된다.
  • 원문링크 : KISTI NDSL