화학공학소재연구정보센터
  • 스퍼터링 타겟 제조 방법, 유기 발광 표시 장치 및 유기 발광 표시 장치 제조 방법
  • 국제 특허분류 : C23C-014/34, C04B-035/01, H01L-051/50, H05B-033/10
  • 출원번호/일자 : 10-2013-0088267 (2013/07/25)
  • 공개번호/일자 : 10-2015-0012584 (2015/02/04)
  • 출원인 : 삼성디스플레이 주식회사
  • 본 실시예는 기판상에 제1 전극, 제2 전극 및 적어도 유기 발광층을 구비하는 중간층을 포함하는 유기 발광 소자를 형성하는 단계 및 상기 유기 발광 소자 상에 저온 점도변화(Low temperature Viscosity Transition: LVT) 무기물 및 산화물을 포함한 적어도 하나의 무기막을 포함한 박막 봉지층을 형성하는 단계를 포함하고, 상기 산화물은 지르코늄-텅스텐 산화물 또는 리튬-알루미늄-실리콘 산화물을 함유하는 유기 발광 표시 장치 제조 방법을 제공한다.
  • 원문링크 : KISTI NDSL