화학공학소재연구정보센터
  • 합금 도금 시스템에서 패시베이션으로부터 애노드 보호
  • 국제 특허분류 : C25D-017/00, C25D-017/10
  • 출원번호/일자 : 10-2013-0064985 (2013/06/05)
  • 공개번호/일자 : 10-2013-0136941 (2013/12/13)
  • 출원인 : 노벨러스 시스템즈, 인코포레이티드
  • 실질적으로 상이한 표준 전기증착 전위들을 갖는 2개의 금속들의 연속적인 동시 전기도금을 위한 (예를 들면, Sn-Ag 합금들의 증착을 위한) 장치는, 덜 귀한 제 1 금속 (예를 들면, 주석) 의 이온들을 포함하지만 더 귀한 제 2 금속 (예를 들면, 은) 의 이온들은 포함하지 않는 애노드액 및 활성 애노드를 격납하기 위한 애노드 챔버; 제 1 금속 (예를 들면, 주석) 의 이온들, 더 귀한 제 2 금속 (예를 들면, 은) 의 이온들을 포함하는 캐소드액 및 기판을 격납하기 위한 캐소드 챔버; 애노드 챔버와 캐소드 챔버 사이에 배치되는 세퍼레이션 구조체로서, 캐소드액으로부터 애노드액으로 더 귀한 금속의 전달을 실질적으로 방지하는 세퍼레이션 구조체; 그리고 장치에 커플링되고 연속적인 전기도금을 수행하기 위해 구성되는 한편, 연장된 사용 기간동안 도금조 컴포넌트들의 실질적으로 일정한 농도를 유지하는 유체 피쳐들 및 연관 제어기를 포함한다.
  • 원문링크 : KISTI NDSL