화학공학소재연구정보센터
  • 대전방지용 시트 및 이를 포함하여 대전방지된 작업 스테이지
  • 국제 특허분류 : H01L-021/683, C09K-003/16
  • 출원번호/일자 : 10-2011-0139264 (2011/12/21)
  • 공개번호/일자 : 10-2013-0071824 (2013/07/01)
  • 출원인 : 주식회사 탑 엔지니어링, (주)탑나노시스
  • 본 발명은 대전방지용 시트 및 이를 포함하여 대전 방지된 작업 스테이지를 제공한다. 본 발명의 대전방지용 시트는 다공성 시트와, 중간층과, ESD 코팅층을 포함한다. 다공성 시트는 다공성(多孔性)을 가진다. 중간층은 상기 다공성 시트의 적어도 일 측면 상에 폴리머 복합 수지로 이루어진다. ESD 코팅층은 상기 중간층 상에, 탄소나노튜브(carbon nano tube)를 포함하여 이루어진다.
  • 원문링크 : KISTI NDSL