화학공학소재연구정보센터
학회 한국공업화학회
학술대회 2018년 가을 (10/31 ~ 11/02, 제주국제컨벤션센터(ICC JEJU))
권호 22권 2호
발표분야 전기화학_포스터
제목 Structures and electrochemical properties of all solid state thin-film batteries using LTO anode sputtered by RF sputtering
초록 LTO는 기존의 박막전지에서 쓰이는 음극인 Li metal에 비해 안정성이 뛰어나고 큰 출력을 낼 수 있다는 장점을 가지고 있는 물질이다.
본 실험에서 박막전지를 제작하는데 양극은 LCO(LiCoO2), 전해질은 LiPON, 음극은 LTO(Li4/3Ti5/3O4)를 사용하였다. 양극인 LCO는 LiCoO2 타겟을 사용하여 증착하였고 RTA 장비를 통해 열처리를 진행하였다. 전해질인 LiPON은 Li3PO4를 N2 분위기하에서 sputtering하여 증착하였다. 마지막으로 음극 LTO는 Li4/3Ti5/3O4 타겟을 sputtering하여 증착하였다.
smooth하고 poreless한 표면을 얻기 위해서 sputtering power와 process pressure를 조절하여 공정조건을 최적화하였고 표면의 morphology를 확인하기 위해서 FESEM 측정을 하였다. 그리고 XRD 측정을 통해서 박막전지 각 요소들의 결정 상태를 알아보았다. 또한 Nyquist plot 측정을 통해 박막전지의 저항값을 알아보았다. 마지막으로 박막전지의 용량을 측정하기 위해 Cycling test를 실시하였다.
저자 나단, 서인석, 유도현, 윤백상, 이병준
소속 전북대
키워드 Li battery; All solid state battery; nanostructured material; lithium titanium oxide
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