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Effects of Non-Prestonian Behavior of Ceria Slurry with Anionic Surfactant on Abrasive Concentration and Size in Shallow Trench Isolation Chemical Mechanical Polishing Hyuk-Yul CHOI, Hyun-Goo KANG, Jun-Seok KIM, Ungyu PAIK, Jea-Gun PARK 한국재료학회 2006년 봄 학술대회 |
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졸겔법에 의한 SiO2-PVA 혼성 전해질 막의 제조 및 특성 평가 채수진, 이회관, 강원호 한국재료학회 2006년 봄 학술대회 |
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Influence of Bead Size during Ceria Abrasive Milling Process on High Selectivity and Light Point Defect (LPD) Formation after STI-CMP MOON Seung-Hyun, LEE Keun-Hoo, KIM Jun-Seok, KANG Hyun-Goo, PAIK Ungyu, PARK Jea-Gun 한국재료학회 2006년 봄 학술대회 |
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Inorganic Polysiloxane Hybrid Binder 함량별 구조 및 도막특성 연구 박동철, 이정우, 이영화, 최재익, 권종화 한국재료학회 2006년 봄 학술대회 |
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콜로이달 실리카를 이용한 새로운 텅스텐 슬러리 개발 유영삼, 강영재, 김인권, 홍의관, 박진구, 정석조, 변정환, 김문성 한국재료학회 2006년 봄 학술대회 |
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천연 제올라이트의 암모늄 흡착능 향상을 위한 공기분급과 수열처리 기술 김윤종, 김상배, 조성백, 이병천, 김택남 한국재료학회 2006년 봄 학술대회 |
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전처리에 따른 HfO2 MOS-Cap의 전기적 특성 평가 양대준, 김주연, 손영준, 김현철, 김영배, 최덕균 한국재료학회 2006년 봄 학술대회 |
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Ni-Co계 양극물질의 전기적 특성에 있어서 최적의 열처리조건(Optimum heating conditions on the electrochemical properties of Ni-Co cathode materials) 이대근, 정훈, 조용수, 황광택 한국재료학회 2006년 봄 학술대회 |
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STI, Poly-Si CMP 공정 중의 연마입자 부착력 특성 평가 김진영, 홍의관, 박진구 한국재료학회 2006년 봄 학술대회 |
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Tripod polishing을 이용한 초전도 선재 단면의 TEM 분석 최순미, 정준기, 하흥수, 고락길, 유상임, 김철진 한국재료학회 2006년 봄 학술대회 |