화학공학소재연구정보센터
번호 제목
21 기능기에 따른 구리산화물 제거 특성 연구
고천광, 이원규
한국화학공학회 2011년 봄 학술대회
20 Effect of Ozone Treatment on Nanoporous Ultralow Dielectrics
최규윤, 강일용, 신보라, 이희우
한국고분자학회 2010년 봄 학술대회
19 상압플라즈마에 의한 구리산화물의 용해 특성 연구
고천광, 이원규
한국화학공학회 2010년 가을 학술대회
18 Cu/low-k BEOL공정에서의 혼합세정액의 개발 및 세정공정 특성 연구
고천광, 이원규
한국공업화학회 2010년 봄 학술대회
17 Understanding Bonding Structure of Low K Transparent Dielectric Using Polyphenylcarbosilane
Yonghyeon Yu, Hyungsun Kim, Seongjin Hwang, Hyunsang Jung, Younghee Kim, Jeonghyeon Lee
한국재료학회 2009년 봄 학술대회
16 반도체 후공정 세정액 특성 연구
고천광, 원동수, 김태경, 손향호, 이원규
한국공업화학회 2009년 가을 학술대회
15 THE ROLE OF SURFACE FUNCTIONAL GROUPS OF SiOC:H LOW-K FILMS ON THE NUCLEATION OF ATOMIC-LAYER-DEPOSITED RUTHENIUM
Jaeyeong Heo, Seok-Jun Won, Sanghyun Park, Cheol Seong Hwang, Hyeong Joon Kim
한국재료학회 2008년 가을 학술대회
14 Epoxy-POSS를 포함한 폴리이미드 복합막의 유전체적 성질
최승혁, 장원봉, 이석규, 김대학, 한학수
한국고분자학회 2007년 봄 학술대회
13 구리배선에서 식각후잔류물에 대한 세정액의 특성 연구
고천광, 이원규
한국화학공학회 2007년 가을 학술대회
12 Packaging Integrity Review for Cu/low k applied wafer
유민
한국재료학회 2007년 봄 학술대회