화학공학소재연구정보센터
번호 제목
2 Characterization of Cu-Mn/Ta layer as Cu diffusion barrier on low-k dielectric
강민수, 박재형, 한동석, 정연재, 박종완
한국재료학회 2015년 봄 학술대회
1 Effect of Annealing in Low Oxygen Ambient on Self-Forming Diffusion Barrier with Cu-V Alloy Material.
강민수, 박재형, 한동석, 박종완
한국재료학회 2014년 가을 학술대회