화학공학소재연구정보센터
번호 제목
30 Thin-Film Barrier Performance of Aluminum-oxide Using the Atomic Layer Deposition Method
한동석, 김경덕, 박재형, 박종완
한국재료학회 2016년 가을 학술대회
29 전자빔 조사를 통한 ZnO기반 박막트랜지스터와 전극간 접촉저항 변화에 대한 연구
한동석, 박재형, 김경덕, 박종완
한국재료학회 2016년 봄 학술대회
28 Characterization of Cu-Mn/Ta layer as Cu diffusion barrier on low-k dielectric
강민수, 박재형, 한동석, 정연재, 박종완
한국재료학회 2015년 봄 학술대회
27 전자빔 조사를 통한 ZnO 산화물 반도체와 금속 전극간 접촉저항 변화에 대한 연구
한동석, 박재형, 강민수, 정연재, 신소라, 박종완
한국재료학회 2015년 봄 학술대회
26 전자빔 조사 처리를 통한 Al2O3/TiO2 수분보호막 코팅된 ZTO 박막트랜지스터의 소자특성 향상
한동석, 박재형, 강민수, 신소라, 정연재, 박종완
한국재료학회 2014년 가을 학술대회
25 Effect of Annealing in Low Oxygen Ambient on Self-Forming Diffusion Barrier with Cu-V Alloy Material.
강민수, 박재형, 한동석, 박종완
한국재료학회 2014년 가을 학술대회
24 Self-forming Ti oxide barrier for nanoscale Cu interconnects created by hybrid atomic layer deposition (ALD) of Cu-Ti alloy
박재형, 한동석, 강민수, 박종완
한국재료학회 2014년 봄 학술대회
23 In doped ZTO 기판 산화물 반도체의 TFT 소자 특성에 대한 Cu-O 계면 층의 Ca element doping의 영향
김신, 오동주, 이상호, 황아영, 정재경, 한동석, 박종완
한국재료학회 2014년 봄 학술대회
22 Effects of oxygen contents in the active channel layer on electrical characteristics of TiO2-based thin film transistors
한동석, 박재형, 강민수, 정연재, 박종완
한국재료학회 2014년 봄 학술대회
21 TFT device reliability improvement of the IGZO base oxide semiconductor by the Ca element addition
오동주, 김신, 이상호, 한동석, 박종완, 황아영, 정재경
한국재료학회 2014년 봄 학술대회