화학공학소재연구정보센터
번호 제목
18 Universal surface reaction model for fluorocarbon plasma processes for silicon, silicon oxide, and silicon nitride substrate
오민주, 임연호, 유혜성, 박재형, 육영근
한국화학공학회 2019년 가을 학술대회
17 3D Feature profile simulation for the oxide etching under the pulsed fluorocarbon plasma
박재형, 유혜성, 육영근, 오민주, 유동훈, 임연호
한국화학공학회 2019년 가을 학술대회
16 Universal plasma etch reaction modeling for fluorocarbon plasma processes
유혜성, 임연호, 육영근, 박재형, 유동훈, 윤국현
한국화학공학회 2019년 봄 학술대회
15 Numerical 3D simulation of plasma etch profile with real plasma chemistry
박재형, 유혜성, 육영근, 오민주, 유동훈, 임연호
한국화학공학회 2019년 봄 학술대회
14 Synthesis of highly durable cation exchange membranes
정윤서, 박은지, 장한나, 임재석, 유혜성, 김경태, 황택성
한국고분자학회 2018년 가을 학술대회
13 Additive gas effects in fluorocarbon-based plasma etching chemistry
박재형, 장원석, 유동훈, 육영근, 유혜성, 임연호
한국화학공학회 2018년 가을 학술대회
12 Surface reaction modeling for oxygen effect in fluorocarbon plasma etch process
유혜성, 육영근, 유동훈, 임연호, 박재형
한국화학공학회 2018년 봄 학술대회
11 3D Feature profile simulation for oxide etching under fluorocarbon/oxygen mixture plasma
박재형, 유혜성, 육영근, 유동훈, 임연호
한국화학공학회 2018년 봄 학술대회
10 Realistic plasma surface reaction model for cyclic fluorocarbon atomic layer etching process  
유혜성, 임연호, 육영근, 유동훈
한국화학공학회 2017년 가을 학술대회
9 3D Feature Profile Simulation of Cyclic Fluorocarbon  Atomic Layer Etching Process
유혜성, 육영근, 유동훈, 임연호
한국화학공학회 2017년 봄 학술대회