화학공학소재연구정보센터
번호 제목
39 3D Feature profile simulation toward next generation high aspect ratio contact hole etching process under fluorocarbon and additive gas plasma
박재형, 유혜성, 유동훈, 임연호
한국화학공학회 2022년 봄 학술대회
38 3D Feature profile simulation of oxygen effects in plasma oxide etching process
박재형, 유혜성, 장원석, 육영근, 유동훈, 임연호
한국화학공학회 2021년 가을 학술대회
37 Universal surface reaction model with diffusion effect in plasma oxide etching process
유혜성, 임연호, 박재형, 육영근, 유동훈, 최광성
한국화학공학회 2021년 봄 학술대회
36 Simulation of charge-up coupled with universal surface reaction model in plasma process
유혜성, 육영근, 유동훈, 임연호, 최광성
한국화학공학회 2020년 봄 학술대회
35 Study on 3D heat and mass transfer effects of solid-state hydrogen storage systems with compressed sodium alanate
지건구, 유동훈, 전영하, 임홍영, 정문선, 임연호
한국화학공학회 2019년 가을 학술대회
34 3D Feature profile simulation for the oxide etching under the pulsed fluorocarbon plasma
박재형, 유혜성, 육영근, 오민주, 유동훈, 임연호
한국화학공학회 2019년 가을 학술대회
33 Universal plasma etch reaction modeling for fluorocarbon plasma processes
유혜성, 임연호, 육영근, 박재형, 유동훈, 윤국현
한국화학공학회 2019년 봄 학술대회
32 Numerical 3D simulation of plasma etch profile with real plasma chemistry
박재형, 유혜성, 육영근, 오민주, 유동훈, 임연호
한국화학공학회 2019년 봄 학술대회
31 Study on the optimized design of solid-state hydrogen storage systems with the compressed chemical hydride
지건구, 조윤성, 유동훈, 임연호
한국화학공학회 2018년 가을 학술대회
30 Additive gas effects in fluorocarbon-based plasma etching chemistry
박재형, 장원석, 유동훈, 육영근, 유혜성, 임연호
한국화학공학회 2018년 가을 학술대회