화학공학소재연구정보센터
Korean Industrial Chemistry News, Vol.12, No.6, 39-46, December, 2009
[총설] 주사전자현미경의 기본원리와 응용(Part I)
Principle and Application of Scanning Electron Microscope
전자현미경은 시료의 topography, morphology, composition 및 crystallography를 나노 수준에서 관찰 할수 있는 대표적인 측정기법으로서 기술의 고도화 및 미세화에 따라 사용빈도가 지속적으로 증가하고 있다. 전자 현미경은 전자빔을 이용하여 물체의 형상을 30만배까지 확대하여 관찰할 수 있으며, 전자기 렌즈에 흐르는 전류를 변화시켜 배율을 자유롭게 조절할 수 있으므로 1000배 이하의 저배율 측정에도 널리 활용되고 있다. 국내 전자현미경에 대한 연구는 1990년대 후반부터 시작되었으며, 불과 몇 년 전부터 상용화 제품이 판매되고 있기 때문에 아직까지 걸음마 수준이다. 그러나 세계시장이 매년 12~13% 이상 성장하여 2015년에 3조원 이상이 될 것으로 예상되고 있는 유망한 기술집약적 고부가가치산업이다. 본 고는 국내에서 개발되어 시판되고 있는 주사전자현미경을 중심으로 기본원리와 응용에 대해 요약하였으며, 2번에 나누어 내용을 게재한다.