검색결과 : 22건
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복합 코발트 실리사이드 공정에 따른 게이트 산화막의 특성변화 송오성, 정성희, 이상돈, 이기영, 류지호 Korean Journal of Materials Research, 13(11), 711, 2003 |
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선형열처리법으로 직접 접합된 Si 기판 및 산화된 Si 기판의 접합 특성 이진우, 강춘식, 송오성, 류지호 Korean Journal of Materials Research, 10(10), 665, 2000 |