화학공학소재연구정보센터
검색결과 : 14건
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11 갈바니 치환 증착 방법을 이용한 확산방지막 위에서의 구리 시드층 형성
김재정, 강무성
HWAHAK KONGHAK, 39(6), 721, 2001
12 다결정 실리콘 식각 후처리에 대한 세정 효과 해석
이창원, 이종대, 최상준, 김재정
HWAHAK KONGHAK, 38(2), 230, 2000
13 [행사보고] 제3회 CVD 심포지엄을 마치며
김재정
News & Information for Chemical Engineers, 18(5), 652, 2000
14 [특집: 반도체 공정] ULSI 시대의 식각/세정공정
김재정
Chemical Industry and Technology, 13(3), 240, 1995