화학공학소재연구정보센터
검색결과 : 7건
No. Article
1 오존과 초음파를 이용한 실리콘 웨이퍼의 Post Sliced Cleaning
최은석, 배소익
Korean Journal of Materials Research, 16(2), 75, 2006
2 질소 도핑된 P/P - Epitaxial Silicon Wafer의 Slip 및 강도 평가
최은석, 배소익
Korean Journal of Materials Research, 15(5), 313, 2005
3 적외선 센서를 위해 흡수층으로서 rf Magnetron Sputtering에 의해 제조된 NiCr 박막의 특성
허성기, 최은석, 윤순길
Korean Journal of Materials Research, 13(10), 640, 2003
4 액체 운반 유기 금속 화학 기상 증착법에 의한 (Ba,Sr)RuO 3 하부전극의 특성
최은석, 윤순길
Korean Journal of Materials Research, 11(11), 997, 2001
5 반도체 메모리 소자 응용을 위한 TaSiN 확산 방지층의 산화 저항성
신웅철, 이응민, 최영심, 최규정, 최은석, 전영아, 박종봉, 윤순길
Korean Journal of Materials Research, 10(11), 749, 2000
6 유기금속 화학증착법에 의해 Sputtered-Ru/Polysilicon 위에 증착된 Pt 전극의 특성
최은석, 양정환, 윤순길
Korean Journal of Materials Research, 9(4), 368, 1999
7 전도성 폴리아닐린 분말의 제막 특성
이홍기, 최은석, 심미자, 김상욱, 이주성
Journal of the Korean Industrial and Engineering Chemistry, 6(2), 293, 1995