화학공학소재연구정보센터
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1 Si(100) 기판 위에 성장된 3C-SiC(100)의 특성 연구
김광철, 박찬일, 노재일, 이상현, 남기석, 양영석
HWAHAK KONGHAK, 38(5), 676, 2000
2 SiNx/Si 구조를 이용한 SiC 박막성장
김광철, 박찬일, 남기석, 임기영
Korean Journal of Materials Research, 10(4), 276, 2000
3 HF-산화제-H2O 수용액에서 Si 식각반응의 속도론적 연구
서영훈, 김선중, 김광철, 오재완, 남기석, 김기주, 이형재
HWAHAK KONGHAK, 35(4), 504, 1997