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이종무 공저 논문

No. Article
1 DC 및 RF 스퍼터링법으로 증착한 Cr 박막의 특성 비교
박민우, 이종
Korean Journal of Materials Research, 16(8), 461, 2006
2 rf 마그네트런 스퍼터링법으로 Si 기판위에 증착한 ZnO 박막의 결정성과 photoluminescence 특성에 대한 Zn 완충층 두께의 영향
조용준, 박안나, 이종무
Korean Journal of Materials Research, 16(7), 445, 2006
3 Cosputtering법으로 증착한 ZnO박막의 Al도핑농도가 미세구조 및 물리적 특성에 끼치는 효과
임근빈, 이종무
Korean Journal of Materials Research, 15(9), 604, 2005
4 ALD법으로 증착한 ZnO 박막의 열처리 분위기에 따른 구조적, 전기적 특성 비교
박연규, 박안나, 이종무
Korean Journal of Materials Research, 15(8), 514, 2005
5 마그네트런 스퍼터링법으로 증착한 투명전극용 Al도핑된 ZnO의 공정 분위기에 따른 구조적, 전기적, 광학적 특성비교
임근빈, 이종무
Korean Journal of Materials Research, 15(8), 518, 2005
6 ZrO 2 MIM 캐패시터의 구조, 표면 형상 및 전기적 특성
김대규, 이종무
Korean Journal of Materials Research, 15(2), 139, 2005
7 ZnO 성장을 위한 Atomic Layer Deposition법에서 공정온도가 박막의 구조적 및 광학적 특성에 미치는 영향
임종민, 이종무
Korean Journal of Materials Research, 15(11), 741, 2005
8 반응성 스퍼터링법에서의 RF전력, 기판온도 및 가스유량비가 WC x 막의 기계적 특성에 끼치는 효과
박연규, 이종무
Korean Journal of Materials Research, 15(10), 621, 2005
9 ZnO ALE를 위한 Si, sapphire기판의 ECR 플라즈마 전처리
임종민, 신경철, 이종무
Korean Journal of Materials Research, 14(5), 363, 2004
10 열플라즈마를 이용한 TiC 나노분말 합성
한인수, 오성민, 태원필, 안화승, 이종무, 오재희, 박동화
Journal of the Korean Industrial and Engineering Chemistry, 14(8), 1028, 2003
11 ECR plasma로 전처리된 Cu seed층 위에 전해도금 된 Cu 막에 대한 Annealing의 효과
이한승, 권덕렬, 박현아, 이종무
Korean Journal of Materials Research, 13(3), 174, 2003
12 ALD법으로 제조된 Al 2 O 3 박막의 물리적 특성
김재범, 권덕렬, 오기영, 이종무
Korean Journal of Materials Research, 12(6), 493, 2002
13 전해 크롬도금 대체용으로서의 CrC 스퍼터링에 관한 연구
임종민, 최균석, 이종무
Korean Journal of Materials Research, 12(1), 82, 2002
14 Cu seed layer 표면의 플라즈마 전처리가 Cu 전기도금 공정에 미치는 효과에 관한 연구
오준환, 이성욱, 이종무
Korean Journal of Materials Research, 11(9), 802, 2001
15 Cu-MOCVD를 위한 TiN기판의 플라즈마 전처리
이종무, 임종민, 박웅
Korean Journal of Materials Research, 11(5), 361, 2001
16 Cu와 Si간의 확산방지막으로서의 Ti-Si-N에 관한 연구
오준환, 이종무
Korean Journal of Materials Research, 11(3), 215, 2001
17 HfN/Si 3 3 N 4 4 와 NbN/ Si3N4Si 3 N 4 다층박막의 기계적 특성
정진중, 황선근, 이종무
Korean Journal of Materials Research, 11(3), 236, 2001
18 Ta/TaN 복합 다층 피막의 기계적 특성
강영권, 이종무, 최상욱
Korean Journal of Materials Research, 9(8), 837, 1999